1、结构简单,适应性强,易于制造,易于保证高的精度,可以做成小尺寸传感器,以实现特殊测量,能工作在高低温,强辐射及强磁场等恶劣环境中,可以承受高压力,高冲击,过载等。
2、动态响应好,由于极板间的静电引力很小,需要的作用能量极小,又其可动部分可以做的很小很薄,因此其固有频率很高动态响应时间短,能在几兆赫的频率下工作,特别适合动态测量。
3、较大的相对变化量只受线性区限制,其值可达到百分之百或更大,可以保证传感器的分辨率和测量范围。